扫描电镜分析

　　广泛应用于材料学、岩石矿物学、黄土学、生物医学、考古学等研究领域。为中心及西北地区高校、科研院所、科技企业等提供了大量样品表面微区原位形貌与化学组成综合分析,有效支撑了高新材料研究、地质矿产评价、黄土地质调查、生态环境保护等国家自然科学基金和行业重点项目,在国内外高水平期刊发表论文30余篇。 

【基本原理】当一束高能入射电子束轰击样品表面时，被激发的区域将产生二次电子、俄歇电子、特征X射线和连续谱X射线、背散射电子、透射电子等各种物理信号。而在扫描电子显微镜中，人们最感兴趣的信号是二次电子和背散射电子。由于电子束在样品表面扫描时，二次电子信号随样品表面形貌不同而发生改变，并且二次电子的发射局限于样品表面以下10nm的深度，因此可获得相当高分辨率的样品形貌图象。

JSM-7500F型冷场发射扫描电镜—日本电子 

【性能指标】分辨率：1.0nm at 15kV;1.4nm at 1kV

加速电压：0.1KV-30kV

放大倍数：25-100万倍

样品室尺寸：最大200mm直径样品

束流强度：10^-13到2×10^-9 

【功能特点】JSM-7500F能够满足各种科研需求，适合超大样品高分辨观察；能保证极高的图像分辨率，在×1,000,000高放大倍率下也可以保持图像的稳定性；具备Gentle Beam功能和r-filter功能。

JSM-6510A型钨灯丝扫描电镜—日本电子 

【性能指标】保证分辨率：3.0nm（30kV）；8.0nm（3kV）；15nm（1kV）

放大倍数：5至300000×

加速电压：0.5kV至30kV

电子枪：工厂预对中灯丝

【功能特点】通用型扫描电镜，低电压分辨率突出，装载直径150mm的样品；新开发的操作软件简单易懂；配备“阴极发光”(CL)探测器，可对锆石等矿物进行阴极发光拍照。

【应用范围】可对金属、陶瓷、纳米材料、矿物、岩石、生物等样品以及各种固体材料进行表面形貌观察与成分的半定量分析，可进行锆石“阴极发光”照相。