JXA-8100电子探针Electron Probe Microanalyzer（EPMA）
仪器型号：JXA-8100电子探针 （日本电子）
主要技术指标：对B-U(5-92)号元素组成的固体样品进行定性,定量 , 线 , 面分析及相分析。波长范围：0.087～9.3 nm；定量分析检测极限100ppm 。二次电子像分辨率为6nm 。
背散射电子像分辨率为20 nm ，
放大倍数：40～300000倍
主要功能：1）阴极发光装置(CL):为EPMA上的一个附件，主要用于观察样品阴极发光图像。2）X射线能谱仪（EDS）：为EPMA上的一个附件，主要用于对样品进行快速、准确的定性分析。
特色：以分析范围广（B5 –U92）、不损伤样品为主要特点，广泛应用于地学、材料学、矿物学、医学、生命科学和环境学等生产、研究领域。微区分析 . 图像分析. 形貌分析. 物相分析 。
